조명용 OLED 및 W-OLED 기반의 대형 OLED 패널 제조에 사용하는 고생산성, 고효율을 갖는 증착장비 고생산성을 위하여 Rail 구조를 통한 인라인 물류 방식을 적용하며, Linear Source 를 탑재 상향 증착방식 Cluster Type과 다르게 일렬로 진행되는 것이 특징

핵심기술

선형 증발원 증착 방식(유기물 증착용 linear Source)을 통해 다양한 유기소재 증착 가능

점 증발원 배열 방식(금속 증착용 Point Source)을 통해 무기물 증착 가능