R&D Type 증착장비SUNICPV R&D

태양 전지 소자 개발 연구용

Organic / Metal evaporation

Co-evaporation

Magnetron sputtering

Evaporator / Sputter module design

Cluster Type 증착장비SUNICPV Cluster

태양 전지 소자 개발 및 파일럿

In-situ process 구현

Organic / Metal evaporation

Co-evaporation

Magnetron sputtering

Evaporator / Sputter module design

Inline Type 증착장비SUNICPV Inline

태양 전지 파일럿 및 양산

고정밀 트레이 이송 기술

Low tact time

Organic / Metal evaporation

Co-evaporation

Magnetron sputtering

Evaporator / Sputter module design

Solar Cell Application

• Perovskite thin film 태양 전지
• Back contact 태양 전지
• Perovskite – Silicon tandem 태양 전지
• Hetero junction 태양 전지